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    日本技術(shù)研究組合BEANS研究所開(kāi)發(fā)出了由纖維元件構(gòu)成的接觸檢測(cè)薄膜。通過(guò)編織具有功能性的纖維元件，實(shí)現(xiàn)了壓力及位置檢測(cè)功能�？捎糜谌斯てつw及身體傳感器等。該研究所在7月舉辦的“第20屆微機(jī)械/MEMS展”上首次公開(kāi)了試制系統(tǒng)。
    接觸檢測(cè)薄膜使用的纖維元件首先在尼龍絲表面上形成導(dǎo)電膜，然后再在其上形成絕緣膜。導(dǎo)電膜采用透明的導(dǎo)電性高分子聚乙撐二氧噻吩（PEDOT），絕緣膜采用聚對(duì)二甲苯（Parylene）。將尼龍絲縱橫交叉編織后，交叉部分變成壓力傳感器。兩條尼龍絲間的靜電容量在受到壓力后會(huì)增大，根據(jù)靜電容量變化就可以檢測(cè)出接觸位置。另外，產(chǎn)生靜電容量變化的節(jié)點(diǎn)，可以根據(jù)是哪條尼龍絲發(fā)出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)位置。
    BEANS研究所正在推進(jìn)通過(guò)對(duì)連續(xù)工藝形成的尼龍絲進(jìn)行編織的工藝，制造成本低且面積大的功能性元件。為了詳細(xì)介紹該元件，該研究所在微機(jī)械展上展出了試制品。
    另外，在此次的微機(jī)械展上，BENAS研究所與微機(jī)械中心（MicromachineCenter）在同一展區(qū)設(shè)置了展位，利用展板已經(jīng)模型，淺顯易懂地介紹了全部的研究項(xiàng)目。項(xiàng)目包括（1）生物融合工藝技術(shù)、（2）有機(jī)材料融合工藝技術(shù)、（3）三維納米結(jié)構(gòu)的形成工藝技術(shù)、（4）微納米結(jié)構(gòu)的大面積連續(xù)工藝技術(shù)等。上面提到的纖維元件屬于項(xiàng)目（4）。
    關(guān)于項(xiàng)目（1），該研究所介紹了在血糖值濃度較高的環(huán)境下發(fā)光的熒光微球。關(guān)于（2），介紹了在有機(jī)材料上進(jìn)行納米級(jí)表面加工的方法等。關(guān)于（3），介紹了基于中子束的低損傷蝕刻加工技術(shù)及采用超臨界流體的成膜技術(shù)。在與其同時(shí)舉辦的“BEANS項(xiàng)目研討會(huì)”上，項(xiàng)目副負(fù)責(zé)人藤田博之（東京大學(xué)教授）及項(xiàng)目負(fù)責(zé)人解說(shuō)了有關(guān)技術(shù)的詳細(xì)內(nèi)容。與會(huì)人數(shù)眾多，甚至有人站著旁聽(tīng)。