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新型硅基GaN 外延材料的熱應(yīng)力模擬  
新型硅基GaN 外延材料的熱應(yīng)力模擬
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： GaN  SOI  熱應(yīng)力  MEMS  
資料大?。?/td> 352K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡(jiǎn)介：
采用有限元方法，通過ANSYS軟件模擬了體硅襯底上和SOI襯底上生長(zhǎng)的GaN外延膜從1100℃的生長(zhǎng)溫度降到20℃的熱應(yīng)力變化情況。模擬結(jié)果表明SOI襯底作為一種柔性襯底，能有效減少異質(zhì)外延的晶格失配，但是單從熱失配的角度，由于引入了熱膨脹系數(shù)(CET)更小的埋層SiO2，SOI襯底會(huì)使得外延層熱應(yīng)力略有增大。為了降低外延層中的熱應(yīng)力，我們結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的制造工藝，用深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)的方法，借助于SOI材料自停止刻蝕的優(yōu)勢(shì)，將襯底硅和埋氧去除，使得SOI的超薄頂層硅部分懸空，形成一種新型的SOI襯底。模擬結(jié)果表明，這種新型SOI襯底可以將GaN外延層中的熱應(yīng)力降低20%左右。
作者： 王曦，孫佳胤，武愛民，陳靜，王曦
上傳時(shí)間： 2008-05-19 15:14:46
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fengrose    2009-12-12 17:05:24
文章挺不錯(cuò)的。
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