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大氣開(kāi)放式MOCVD 方法制備ZnO 薄膜的氣敏特性研究

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關(guān)鍵詞：

mocvd zno 碳?xì)浠衔?/a> 氣敏

資料大?。?/td>

531K

所屬學(xué)科：

分子表征

來(lái)源：

2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡(jiǎn)介：

利用大氣開(kāi)放式MOCVD在氧化鋁基片上沉積ZnO薄膜，研究了沉積工藝參數(shù)對(duì)薄膜形貌的影響，結(jié)果表明基片溫度對(duì)ZnO薄膜的晶體形貌有顯著的影響，在一定的條件下能夠沉積出具有高比表面積花瓣片層結(jié)構(gòu)的ZnO薄膜。以酒精蒸氣為例，研究了ZnO薄膜對(duì)碳?xì)溆袡C(jī)化合物氣體的氣敏特性，結(jié)果表明結(jié)晶度高且晶粒細(xì)小、比表面積高的薄膜具有較好的氣敏特性。

作者：

沈敬亭，張躍

上傳時(shí)間：

2008-06-20 18:02:26

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