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資料類型: |
PDF文件
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關(guān)鍵詞: |
并五苯 場效應(yīng)晶體管 xrd afm 遷移率 |
資料大?。?/td>
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所屬學(xué)科: |
分子表征 |
來源: |
2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢) |
簡介: |
以X射線衍射儀(XRD)研究了在硅表面形成并五苯多晶薄膜晶體結(jié)構(gòu),通過原子力顯微鏡(AFM)分析了在二氧化硅表面形成并五苯多晶薄膜的形貌。以熱氧化的硅片作為絕緣柵極,并五苯作為有緣層,采用底接觸結(jié)構(gòu),研制場效應(yīng)晶體管。經(jīng)過測試得到其場效應(yīng)遷移率為1.23cm2/Vs,開關(guān)電流比>106。 |
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作者: |
陶春蘭,董茂軍,張旭輝,張福甲
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上傳時(shí)間: |
2008-08-27 16:31:39 |
下載次數(shù): |
42 |
消耗積分: |
2
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