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1-3 型壓電復合材料電極的制備  
1-3 型壓電復合材料電極的制備
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 磁控濺射  電極  導電性能  附著力  
資料大?。?/td> 253K
所屬學科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
采用磁控濺射工藝以Cu、Ag為靶材在1-3型壓電復合材料表面制備電極。研究了兩種金屬材料的濺射鍍膜工藝，系統(tǒng)地分析了濺射功率對金屬沉積速率、電極導電性能及附著力的影響。結果表明，兩種金屬的沉積速率隨濺射功率的增加呈線性增加，電極方阻及電阻率均隨功率增大而減小，濺射功率為100W時電極的附著力較好。
作者： 萬媛媛，李莉，王麗坤，秦雷，魏兵
上傳時間： 2008-09-01 11:41:32
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相關評論 共有1人發(fā)表評論 更多評論
liuhsh    2009-02-05 17:33:13
不錯。。。。
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