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二氧化釩薄膜微結(jié)構(gòu)和光學(xué)相變特性  
二氧化釩薄膜微結(jié)構(gòu)和光學(xué)相變特性
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 薄膜  V  O2  脈沖濺射  微結(jié)構(gòu)  光學(xué)特性  
資料大小： 321K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
二氧化釩薄膜是最有前途應(yīng)用到非制冷紅外微測熱輻射計的材料。它的特性與制備方法、化學(xué)計量比、結(jié)構(gòu)和取向等有直接關(guān)系，仔細(xì)控制工藝參數(shù)是制備應(yīng)用的VO2薄膜關(guān)鍵。研究中采用脈沖磁控反應(yīng)濺射方法，通過精確地控制功率、氧分壓、基底溫度等關(guān)鍵工藝參數(shù)，在石英玻璃和硅片上制備VO2薄膜。利用X射線衍射和X射線光電子譜，分析了薄膜的成分、相結(jié)構(gòu)、結(jié)晶和價態(tài)情況，用原子力顯微鏡表征了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)，在光譜儀對VO2薄膜的高低溫光學(xué)特性原位測量。結(jié)果表明，得到的VO2薄膜純度高、相結(jié)構(gòu)單一、結(jié)晶度、多晶生長。在波數(shù)2000cm-1高低溫透射變化達到51%。
作者： 許 旻，邱家穩(wěn)，崔敬忠，王潔冰，何延春
上傳時間： 2008-09-10 13:37:09
下載次數(shù)： 30
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