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低成本材料MEMS梁結(jié)構(gòu)仿真開發(fā)與制備流程  
低成本材料MEMS梁結(jié)構(gòu)仿真開發(fā)與制備流程
資料類型： Word文件
關(guān)鍵詞： 微機電系統(tǒng)  有限元法  多孔硅ANSYS  微波  襯底  
資料大?。?/td> 1736K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2008年第十五屆全國復(fù)合材料學(xué)術(shù)會議(7.24-7.26，哈爾濱)
簡介：
理論分析MEMS微波懸臂梁開關(guān)的材料與MEMS功能極為相關(guān)的若干特性，用物理機理支持了多孔材料之引入，以達到器件高性能和襯底低成本的兼顧，并給出了引入后的制備流程全覽；然后闡述了基于有限元方法的典型材料梁結(jié)構(gòu)的功能分析，即用ANSYS軟件對MEMS場分布進行了模擬，經(jīng)過比較得出：MEMS開關(guān)懸臂閉合的驅(qū)動臨界電壓值隨著金屬懸臂材料楊氏模量的增大而增大，隨著雙層結(jié)構(gòu)中兩種材料參數(shù)匹配度的增大而減小。
作者： 葛羽屏 紀(jì)江明
上傳時間： 2008-09-23 17:16:41
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