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立方氮化硼薄膜表面的XPS研究  
立方氮化硼薄膜表面的XPS研究
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 立方氮化硼薄膜  表面  X射線光電子能譜  
資料大?。?/td> 247K
所屬學(xué)科: 分子表征
來源: 2004年第五屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議(9.12-9.16,北京.秦皇島)
簡介:
研究立方氮化硼薄膜表面的性質(zhì)對于研究立方氮化硼薄膜的成核機(jī)理和應(yīng)用,具有重要的價(jià)值。本文用XPS對立方氮化硼薄膜表面進(jìn)行研究,并對有關(guān)問題進(jìn)行了討論。XPS分析表明,立方氮化硼薄膜表面除了B、N外,還含有C和O。從XPS譜圖計(jì)算得到含有立方相的氮化硼薄膜的N/B為0.90,較接近于氮化硼的理想化學(xué)配比1:1;不含立方相的氮化硼薄膜的N/B為0.86,離氮化硼的理想化學(xué)配比1:1較遠(yuǎn)。計(jì)算表明立方氮化硼薄膜的頂層六角相的厚度約為0.8nm。
作者: 鄧金祥 陳浩 陳光華 劉鈞鍇 宋雪梅 朱秀紅 王波 嚴(yán)輝
上傳時(shí)間: 2007-07-06 15:58:47
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