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MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)  
MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： MOCVD  SnO2單晶薄膜  藍(lán)寶石襯底  
資料大?。?/td> 483K
所屬學(xué)科： 分子表征
來(lái)源： 2007年第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議暨2007國(guó)際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡(jiǎn)介：
用金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）法在藍(lán)寶石(0001)襯底上制備出高質(zhì)量的氧化錫（SnO2）單晶薄膜。對(duì)制備薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行了研究。制備樣品具有純SnO2的四方金紅石結(jié)構(gòu)，其外延生長(zhǎng)方向?yàn)镾nO2(100)∥Al2O3(0001)。薄膜均勻、致密，具有很好的取向性和結(jié)晶性。透射譜測(cè)量結(jié)果表明，在可見(jiàn)光區(qū)薄膜的絕對(duì)透過(guò)率達(dá)到了90%以上。
作者： 馮先進(jìn)，馬 瑾，楊 帆，欒彩娜
上傳時(shí)間： 2008-09-09 17:13:06
下載次數(shù)： 28
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