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    2008年6月3日，中科院計(jì)劃財(cái)務(wù)局在理化所組織了《BioMEMS基片快速成型系統(tǒng)的研制》項(xiàng)目的驗(yàn)收。該項(xiàng)目是由高云華研究員負(fù)責(zé)承擔(dān)的中國(guó)科學(xué)院科研裝備研制項(xiàng)目，專家組聽(tīng)取了研制工作報(bào)告、測(cè)試報(bào)告和財(cái)務(wù)報(bào)告，現(xiàn)場(chǎng)查看了儀器設(shè)備，查閱了相關(guān)技術(shù)文件后一致認(rèn)為，該設(shè)備集成汞燈光源光纖傳導(dǎo)系統(tǒng)，MEMS微反射鏡陣列數(shù)字化成像技術(shù)和微平移技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了無(wú)掩膜光刻，完成了基于新原理的設(shè)備研制，具有創(chuàng)新性和進(jìn)一步深入研究升級(jí)改造的價(jià)值。儀器的各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到了研制合同的驗(yàn)收指標(biāo)要求，部分指標(biāo)優(yōu)于合同的驗(yàn)收指標(biāo)，納米生物集成技術(shù)研究組圓滿完成了項(xiàng)目任務(wù)規(guī)定的全部研究?jī)?nèi)容。

 

    2005年12月理化所承擔(dān)中國(guó)科學(xué)院科研裝備研制項(xiàng)目《BioMEMS基片快速成型系統(tǒng)的研制》，所領(lǐng)導(dǎo)和相關(guān)部門(mén)給予高度重視和積極配合，使項(xiàng)目順利按期完成。該項(xiàng)目是理化所在微器件研究平臺(tái)建設(shè)中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。在原有工作基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)科學(xué)家們兩年多的艱苦努力，取得了突破性的進(jìn)展。